工藝流程：

       1、預處理----復床 ----混床---拋光樹脂

       2、預處理----反滲透---混床---拋光樹脂

       3、預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂

       傳統超純水制取設備工藝流程：原水-多介質過濾器-活性炭過濾器-一級除鹽-混床-超純水

       膜法超純水制取設備工藝流程：原水-超濾-反滲透-EDI-超純水

       在膜法工藝中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透裝置對污水回用的安全，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進一步除去有機物，膠體等雜質，可以保障反滲透出水滿足EDI進水的要求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿對樹脂再生，避免了二次污染。